Detail výsledku

Zařízení pro anodické pájení

Registrace: 2. června 2011 Udělen: 25. července 2011
Název anglicky
Anodic bonding device
Typ
užitný vzor
Jazyk
čeština
Autoři
Pekárek Jan, doc. Ing., Ph.D., FP (FP), UMEL (FEKT)
Pavlík Michal, Ing., Ph.D., UMEL (FEKT)
Vlach Radek, doc. Ing., Ph.D., UMEL (FEKT), ÚMTMB (FSI), ÚMTMB OM (FSI)
Vrba Radimír, prof. Ing., CSc., CEITEC VUT (CEITEC VUT), UMEL (FEKT)
Magát Martin, Ing., Ph.D., UMEL (FEKT)
Háze Jiří, doc. Ing., Ph.D., UMEL (FEKT)
Mareček Karel
Popis

Zařízení je určené pro anodické pájení v laboratorních podmínkách. Slouží k výrobě součástek MEMS. Zařízení je schopné vyrobit tři vzorky součástek současně.

Popis anglicky

Anodic bonding device serves as laboratory device for MEMS fabrication. The device is able to fabricate three MEMS devices simultaneously.

Klíčová slova

anodické pájení, MEMS

Klíčová slova anglicky

anodic bonding, MEMS

URL
Číslo
22520
Vydavatel
Úřad průmyslového vlastnictví, Prague, CZ
Licence
K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence
Licenční poplatek
Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje licenční poplatek
Vlastník
Vysoké učení technické v Brně, Brno, CZ , BD SENSORS, s. r. o., Buchlovice, CZ
Pracoviště
Ústav mikroelektroniky (UMEL)
Nahoru