Detail výsledku
Tříosé nanoposuvné měřicí zařízení pro měření optických rezonátorů
Vznik: 2007
Název anglicky
Precise nanopositioning station for measuring of optical resonators
Typ
funkční vzorek
Jazyk
čeština
Autoři
Kadlec Jaroslav, doc. Ing., Ph.D., UMEL (FEKT)
Vrba Radimír, prof. Ing., CSc., UAMT (FEKT), UMEL (FEKT)
Vrba Radimír, prof. Ing., CSc., UAMT (FEKT), UMEL (FEKT)
Popis
Měřicí zařízení pro měření optických rezonátorů s pohybem ve třech osách s nanometrickým rozlišením.
Popis anglicky
Precise nanopositioning station for measuring of optical resonators driven by inteligent controller.
Klíčová slova
nanoposuv; optický rezonátor; měření
Klíčová slova anglicky
nanopositioning; optical; measuring
URL
Umístění
BD SENSORS Buchlovice
Licence
K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence
Licenční poplatek
Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje licenční poplatek
Pracoviště
Ústav mikroelektroniky
(UMEL)