Detail výsledku

Nové metody a struktury k použití MEMS a nanotechnologií využitelné při měření tlaku

VRBA, R., FICEK, R. Nové metody a struktury k použití MEMS a nanotechnologií využitelné při měření tlaku. 1. Buchlovice: MPO ČR, 2006. 14 s.
Název anglicky
New methods and structures for MEMS and nanotechnologies applications in pressure measurement
Typ
výzkumná zpráva
Jazyk
čeština
Autoři
Vrba Radimír, prof. Ing., CSc., UMEL (FEKT)
Ficek Richard, Ing., UMEL (FEKT)
Abstrakt

Nové metody a struktury k použití MEMS a nanotechnologií využitelné při měření tlaku

Abstrakt anglicky

New methods and structures for MEMS and nanotechnologies applications in pressure measurement

Klíčová slova anglicky

MEMS, nanotechnology, pressure sensor, measurement

Rok
2006
Strany
14
Řada
1
Vydavatel
MPO ČR
Místo
Buchlovice
BibTeX 
@techreport{BUT57521,
  author="Radimír {Vrba} and Richard {Ficek}",
  title="Nové metody a struktury k použití MEMS a nanotechnologií využitelné při měření tlaku",
  year="2006",
  publisher="MPO ČR",
  address="Buchlovice",
  series="1",
  pages="14"
}
Pracoviště
Ústav mikroelektroniky (UMEL)
Nahoru