Detail výsledku

Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS)

FICEK, R.; VRBA, R. Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS). In Moderní metody řešení, návrhu a aplikace elektronických obvodů. Brno: Ing. Zdeněk Novotný, CSc., Brno, Ondráčkova 105, 2007. p. 48-51. ISBN: 978-80-214-3535-3.
Typ
článek ve sborníku konference
Jazyk
angličtina
Autoři
Ficek Richard, Ing., UMEL (FEKT)
Vrba Radimír, prof. Ing., CSc., UAMT (FEKT), UMEL (FEKT)
Abstrakt

In this article the new pressure sensors using carbon nanotubes (CNTs) arrays as the
electron source in emission sensor or as the surface increase element in capacitance
sensor are presented. Both sensors are made of the two parts; elastic electrodesensing
film fabricated by anisotropic etching and solid electrode. The emission
sensor has elastic anode electrode with membrane and carbon nanotubes
(MWCNTs) arrays cathode in the chamber. The capacitance sensor has the same
topology extensive by CNT on both electrodes. The MWCNTs were grown by
plasma enhanced chemical vapour deposition (PECVD) in plasma reactor.

Klíčová slova

carbon nanotubes, emission, pressure sensor

Rok
2007
Strany
48–51
Sborník
Moderní metody řešení, návrhu a aplikace elektronických obvodů
Vydání
první
ISBN
978-80-214-3535-3
Vydavatel
Ing. Zdeněk Novotný, CSc., Brno, Ondráčkova 105
Místo
Brno
BibTeX 
@inproceedings{BUT28141,
  author="Richard {Ficek} and Radimír {Vrba}",
  title="Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS)",
  booktitle="Moderní metody řešení, návrhu a aplikace elektronických obvodů",
  year="2007",
  number="první",
  pages="48--51",
  publisher="Ing. Zdeněk Novotný, CSc., Brno, Ondráčkova 105",
  address="Brno",
  isbn="978-80-214-3535-3"
}
Pracoviště
Ústav mikroelektroniky (UMEL)
Nahoru